FPSEM-STE3N III族氮化物分子束外延系统
- 公司名称 孚光精仪（中国）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 FPSEM-STE3N
- 产地 孚光精仪欧洲
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2021/12/6 22:27:40
- 访问次数 596
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孚光精仪是进口精密仪器和实验室仪器设备供应商,是*基于激光和成像等光子技术分析测试仪器的规模性进口商和代理商，服务商。
孚光精仪公司以精密光学技术为特色，以光学应用为宗旨，以欧洲,北美和日本进口精密仪器为主业,为中国客户提供*分析测试仪器产品,促进光学技术产品在中国的应用和相关技术水平提升。
21世纪是光学世纪,激光,光谱,光学成像等光学技术极大地促进生物光子学,燃烧和流体力学光学诊断,光谱测试分析等学科发展和技术提升，成为前沿科学和先进制造*的分析,计量,测试和实验工具手段，因此“光学”成为“精密”的代名词,是*精密测试分析的有力实验技术。
孚光精仪公司就是这样一个以光学为特色的进口仪器和实验室设备公司,拥有齐全的进口精密（光学）仪器种类，庞大而可靠的国外生产商群体，和快捷高效的贸易体系，是用户信赖的进口分析测试技术仪器和实验室仪器的旗舰型供服务商。
公司品牌释意
孚：信服/conviction，
光：光学/optics
精：精密/
precision
仪：仪器/Instruments
我们信服于光学,致力于光学精密仪器事业。
公司价值
孚光精仪-精通光学,服务科学
经验丰富的激光和光学技术工程师帮助用户出具方案,确认适合应用的精密
光学仪器和科学仪器装置，为用户提供“舒心，省心”的进口体验。以丰富的进口操作经验和电子商务管理体系,高效沟通国外制造商,为用户提供高效的仪器进口和购置服务！
齐全的光学种类
涵盖了所有光学和激光技术应用领域和相关仪器
荧光光学成像仪器 （包括FRET系统,TIRFM显微镜系统, 钙成像显微镜系统，荧光寿命成像系统,生物发光和荧光发光成像系统等生物光子学仪器）
分子生物学
光学仪器（ 包括凝聚成像,生物发光和荧光发光成像系统等）医用
光学仪器（内窥成像,生物活检成像,辐射成像等）光谱分析
测试仪器 （激光拉曼光谱仪, FTIR光谱仪,LIBS光谱仪等）激光粒度仪器 （基于激光和图像技术的粒度和浓度
测试仪器）光学成像仪器 （高速成像,红外热成像,X射线成像）
光谱成像系统 （包括高光谱成像,多光谱成像仪器）
燃烧和流体力学光学诊断技术和仪器 （基于激光和成像技术,融合光谱分析技术组建PIV,PLIF,温度探测,燃烧分析成像等仪器）
无损光学检测仪器（如果激光散斑干涉,EPSI,X射线成像,热成像,光学内窥等仪器）
AFM, SEM,SPM等特种光学显微镜
通用
实验室仪器和设备（包含所有涉及光学技术的实验仪器）服务和应用领域
生物光子学
生命科学
医学成像
制药
食品工程
化学和化工
实验室仪器和实验室建设
流体力学
工程热物理
燃烧诊断分析
发动机研发
航空航天
地球物理科学
地质和石油勘探
半导体和微电子
先进制造
新能源
材料科学
仪器科学与技术
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客户群体
高等院校
*系统研究院所
中国国有企业及其研究院所
外资企业
高效的服务体系
总部位于上海,在上海自贸区和天津自贸区具有仓库，在香港设立贸易公司，拥有遍布全国的代理商，供应商遍布美国、德国、英国、法国、意大利、奥地利、瑞典、捷克、立陶宛、爱沙尼亚等精密仪器优势国家和地区。
公司受益于香港便捷的贸易条件以及上海自贸区和天津自贸区的高效进口程序，为客户提供高效技术仪器进口服务，为制造商提供高效出口服务。
灵活的购买方式
孚光精仪在天津和上海均有进口公司,众邦企业（天津）贸易有限公司和辅光精密仪器（上海）有限公司,具有商检，报关，进出口等高贸易资质，为客户提供优质而专业的进口服务，帮助出口商/制造商完成清关服务，并送货到用户地址。
外方经理定期来华办公指导 工作园区一角\
公司电子*门办公一角 员工文化墙一角
用户的青睐和信任
我们高效的服务和质优价廉的产品赢得了广大的青睐和信赖，成为声誉*的*产品和服务供应商。国内的科研单位多次从我公司订购各种产品。如：
*上海光机所
*西安光机所
*安徽光机所
*长春光机所
*合肥物质研究院
*物理研究所
*光电研究院
*福建物质结构研究所
中国工程物理研究院
华中光电技术研究所
中国电子集团公司53所
清华大学
北京大学
中国科技大学
哈尔滨工业大学
山东大学
武汉大学
南开大学
天津大学
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飞秒激光微加工系统,激光器,激光晶体,原子力显微镜
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,能源,电子,航天 |
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这款III族氮化物分子束外延系统专业为A3N材料生长设计的MBE设备,适合氨气高温下制备生长A3N半导体材料,提供非常广泛的可用生长参数（有效氮通量、衬底温度、生长过程中的真空度）。III族氮化物分子束外延系统设计在衬底上提供*的温度（>1200℃）以及在长生长周期中加热阶段的可靠工作。利用氨作为活性氮源，可以生长出高质量、厚的AlN/AlGaN缓冲层。这项技术的结果是生长出位错密度极低的活性层，为分子束外延（MBE）创造了记录。
III族氮化物分子束外延系统系列有两种（STE3N2）和三种（STE3N3）基本类型，配备有缓冲准备室。除了NH3注入器外，III族氮化物分子束外延系统还可能配备氮等离子体源（可选），用于生长InGaN、InAlN和InAlN的活性层藻类：MgIn与氨水混合。
III族氮化物分子束外延系统采用衬底支架和生长操纵器的加热台的patent设计，用于III氮化物生长的所有类型衬底（蓝宝石、SiC、Si、AlN）提供了非常高的加热均匀性。允许最大衬底直径100mm,用于基础和应用研发以及基于III型氮化物的高质量外延片的试生产。
III族氮化物分子束外延系统主要特点：
•特殊的先进设计和经批准的生长反应器，在NH3环境和jiduan基质温度下提供关键系统组件的长期可靠运行
•超大液氮冷冻板，用于有效的氨气泵送，在高NH3负荷下提供连续生长
•patent铝源，特殊设计，延长使用寿命，在氨气环境下提供超过2μm/h的AlN生长速率，无金属蠕变
•能够生长质量与在不匹配衬底上生长的MOCVD层相当的GaN外延层
•在系统基本配置中对生长过程进行现场监测的所有必要工具
•获得patent的基板支架设计，在整个晶圆上提供高温均匀性
•高温生长操纵器，在不低于1200°С的生长温度下提供高质量AlN层的连续生长
•在210-135 mm范围内改变“源-基”距离的能力，以使用不同类型的电池和晶片OD优化均匀性
•STE3N2双腔型紧凑型“封装外形”
•安装期间的有效技术支持，包括基本工艺转移
•简单的系统操作和定期的技术维护
III族氮化物分子束外延系统主要选项：
•准备室，带有用于基板支架（7个）和脱气台的存储盒，原子氢源专用端口
•额外的渗出细胞（5、15、25、35、60 cc的坩埚）
•附加PID调节器电源单元
•射频等离子体氮源，带有带MFC的氮气供应管线
•SiH4气体喷射器和带MFC的气体供应管线
•Bayard-Alpert型束流监测器（BFM）
•在涡轮泵中提供额外的原子基底，以及分子泵制备
•带电源装置的钛升华泵
•额外的基板支架，包括用于非标准尺寸样品的适配器
•系统运行的起始材料（Ga、Al、In、NH3、N2、Si、Mg、钛金属化蓝宝石晶片等）
•基于相分离器的液氮供应系统
•额外的备件和附件套件
III族氮化物分子束外延系统参数：
| 烘烤后生长室的最终真空度，Torr | <5×10-11 |
| 最大基板直径，mm | 100 |
| 3″基板的厚度和成分不均匀度，% | ±1 |
| 生长机械手加热元件的设计 | PBN/PG/PBN |
| 最大基板表面温度，℃ | 1200 |
| 生长室压力，Torr： –基板温度为970°С，氨流量为400 sccm –基底温度为1200°С，氨流量为100 sccm –基底温度为500°С，氨流量为1000 sccm | <1×10-5 <5×10-6 <1×10-5 |
| 生长几何学 | 可调，“源到基片”距离135-210 mm |
| 集成分析 | RHEED、BFM（可选）、RGA、激光干涉仪、红外高温计 |
| 制备室中基板退火的最高温度，不低于，℃ | 1100 |
| 最大氨工作流量，sccm | 100 |
| 生长室的烘烤温度，不低于，℃ | 200，无热点形成 |
| 工艺过程自动化 | 操作员通过控制界面进行手动控制或通过配方执行工艺 |
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