SR系列膜厚传感器

一、产品概述

SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。

二、产品特点

■ 操作简便、小巧易安装；

■ 高速、高分辨率；

■ 多款定制测头满足多场景需求；

■ 宽光谱涵盖多膜厚需求应用；

■ 适用在线膜厚量测与质量评估；

■ 宽光谱实现多应用场景需求。

三、测量原理

技术参数

 *1：用玻璃的折射率1.5计算

*2：用硅的折射率3.67计算

      *3：测量500 nmSiO2厚度的1σ

             *4：测量厚度大于30µm的Si膜的1σ

武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业，公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。

公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向全球，为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。

产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。