中央供药系统

一、中央供药系统 产品介绍：

1. 中央供药系统用于厂内供药，通过该系统可以按照设定的配比，将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。适用药液包括：酸性（H2SO4,HCL,HNO3,H3PO4,HF,BOE等），碱性（NH4OH, NAOH, KOH等），有机（IPA, ACE, 去胶，去蜡等），抛光液（金刚石抛光液，化学抛光液等）。

2.该系统供药配比精确，配方可根据客户需要进行编辑确认，容量大小根据客户需求进行定制。

二、企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。                      

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。