SL-1023 化学机械磨抛机
- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 矢量科学
- 型号 SL-1023
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2024/9/5 9:27:34
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| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 文体,综合 |
一、产品概述：
SL-1023化学机械磨抛机，适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
二、设备特点：
·超平不锈钢抛光盘（平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。
·超精旋转轴（托盘端跳小于 0.01mm）。 ·设有两个加工工位，可分别进行控制。
·配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 ·配置自动滴料器，流量速率可视化调整， 自动研磨和抛光。
·配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
三、主要技术指标：
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃ , 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及下排水 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重 200kg 以上 5、通风装置：不需要 | ||
主要参数 | 主机部分 | GPC-100A 精密磨抛控制仪 | 自动滴料器 |
1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2 个 5、摆臂调节档位:1-15 档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘: φ300mm 8、载样盘 : φ 105mm 9、修盘环 : φ 127.5mm
| 1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程： 1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸： 直径≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外径 146mm，高 266mm
| SKZD-2 滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4 自动滴料器 1、加液泵：4 个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg
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产品规格： ·尺寸：550mm×700mm×420mm ·重量：74Kg
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