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CIF臭氧中和器

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。







冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

产地类别 国产 应用领域 化工,生物产业,能源,制药,综合

一、产品简介

CIF臭氧中和器(UVO-N)用于紫外臭氧清洗机臭氧去除配套设备。主要是通过纳米级金属氧化物催化剂分解臭氧,以及利用臭氧的不稳定性加速臭氧快速流动从而达到快速去除臭氧的目的。

二、CIF臭氧中和器 产品特点

1.采用无毒,不燃烧、活性高、寿命长的纳米级金属氧化物的臭氧分解催化剂,能在室温状态下将高浓度的臭氧快速分解为氧气。

2.采用大流量、高负压、低噪音无刷隔膜泵加速臭氧流动,使得臭氧分解更全面。

3.HEPA高效过滤器应用,有效保护隔膜泵不被催化剂损伤。

三、技术参数

1.臭氧分解催化剂分解效率大于99%。

2.隔膜泵抽气效率:10L/min。

3.电源:220V/50/60Hz/20W。

4.整机尺寸:280(W)×168(D)×180 (H) mm。

四、企业简介:                  

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。



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