离子研磨系统

一、离子研磨系统 产品概述：

为了对样品内部结构进行观察、分析，必须让样品内部结构显露出来，日立离子研磨装置使用大面积低能量的Ar离子束，加工出无应力损伤的截面，为SEM观察样品的内部多层结构、结晶状态、 异物解析、层厚测量等提供有效的前处理方法。

二、离子研磨系统 技术特点：

1. 制成的低损伤的截面便于表层以下内部结构分析

2. 适用样品：电子元件如IC芯片、PCB、LED等（多层、裂

3. 痕、孔洞分析）、金属（EBSD晶体结构、EDS元素分析、镀 层）、高分子材料、纸、陶瓷、玻璃、粉末等

4. 可移动的样品座可精确定位、实现对特定位置的研磨

5. 最大样品: 宽20 mm× 长12 mm× 厚7 mm

6.联用样品台在机械研磨、离子研磨、SEM观察（Hitachi机型）之间不用更换样品台

三、企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。