半导体参数测试仪

一、半导体参数测试仪 产品概述：

配备集成电脑及显示屏一体机箱，包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块，配合专用数据测量分析软件，无需外接其他仪表即可实现I-V曲线，I-t曲线，C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果。具有瞬态波形捕获模式和任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns 。

二、半导体参数测试仪 技术参数;

1. 电流测量精度≤0.1 fA，最小可测量电流≤20 fA

2. 最大电流测量量程≥0.1 A，最大输出功率≥2 W

3. 电流测量精度10 fA时，电流表的最短采样时间间隔100 μs

4. I-V特性测试及C-V特性测试切换时，无须更改电路

5. 实现不同频率交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） 的测量，频率范围1 kHz-5 MHz，最小频率步进≤1 mHz

6. 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）

7. 电容测量范围5 fF-1 nF，电压0至±25V，步进≤1 mV

8. 具有脉冲输出及采集模块，脉冲输出电压峰值10 V

9. 脉冲采样最大采样率≥200 MSa/s，最小采样时间5 ns

二、企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。