全自动SCRUBBER清洗机

一、全自动SCRUBBER清洗机 产品介绍：

清洗机可以用于对晶圆表面，背面及晶圆边缘的清洗，通过创新研发的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除，实现高效去除。通过大量仿真与工艺试验相结合，优化出最佳的清洗工艺参数，确保不损伤晶圆表面的图形；对于微米级别大颗粒，采用特殊材料的毛刷或高压喷淋对晶圆进行擦洗去除。配合晶圆翻转装置和夹持式承片台，可在同一台设备中实现对晶圆的正反两面进行清洗。

二、全自动SCRUBBER清洗机 产品应用领域：

1. 晶片炉管前后清洗

2. 化学气相沉积（CVD）前后的清洗

3. 物理气相沉积（PVD）前后的清洗             

4. 化学机械抛光（CMP）前后的清洗，前后段干法刻蚀后的清洗

5.特殊工艺要求晶圆背部及晶圆边缘的清洗

三、企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。