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XENOS 三坐标测量机

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北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

合作丨共赢,选择我们,选择未来!

 

半导体材料分析,材料刻蚀

产地类别 国产 产品种类 复合式
工作方式 水平式 工作原理 自动型
价格区间 面议 应用领域 环保,化工,电子/电池

三坐标测量机

蔡司三坐标测量机XENOS可在各类要求高测量精度的领域使用——从科研机构的测量实验室、航空和航天工业直至光学工业。这一三坐标测量机的测量精度达到技术ji限,其测量范围近1立方米。 创新的机械设计


XENOS采用了全新的机械设计理念。与标准桥式三坐标测量机不同:Y导轨分布于侧壁顶部,分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动,更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称真正的优势。更低及恒定的移动重量造就了加速及高速度的统一。

所有轴均采用线性驱动

XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点:高速、加速极快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合超高分辨率光栅尺技术,XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的定位精度。例如,测针偏移量越恒定,即可获得更佳的测量精度。于测量曲面时更显见另一优势:测针的移动路径与预定值越吻合,即可实现越出色的精确性。

虚拟中央驱动

XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统,得益于蔡司新的中央驱动技术可实现佳的同步控制。该技术可据X轴位置分布驱动力。作为控制系统及算法之结合,这是在整个测量范围内获得测量精度及运动稳定性的关键因素。

碳化硅陶瓷

XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止,该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用。与常规陶瓷相比,碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%,而刚性则可大提升30%,同时减重20%。与钢材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可获得两倍的刚性。

加强型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold测量探头。在研发过程中,蔡司在测量精度和测量重复度方面对该探头进行了优化。XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与大长度为800毫米的测针以及大重量为500克的测针配套使用,包括非对称型测针。

优化的气浮轴承

全新强化处理气浮轴承具有更佳的稳定性及测量精度。

改进的电子设计

通过全新的电子设计,移动线缆对精度影响显著降低。计算机辅助精度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技术在获得zui大测量精度的过程中扮演着日趋重要的作用。
测量范围(in mm)


XYZ
9/15/79001,500700


长度测量误差E0

自0.3+L/1,000μm


可配置的探头

VAST gold


可选用的软件

calypso


蔡司测量解决方案



xenos


 





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