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悬臂式三坐标测量机的一些关键检验要点：
几何精度检验
工作台面与移动平面平行度：检验工作台面与X、Y移动平面的平行度，确保测量基准的准确性。
移动直线度：检验X、Y、Z向移动的直线度，每个坐标轴都有两个方向的直线度要求。
移动角度变化：检验X、Y、Z方向移动的角度变化，每个坐标轴有3个方向的角度变化要求。
移动相互垂直度：检验X、Y、Z方向移动的相互垂直度，总共有3个垂直度要求。
测量精度检验
示值误差（MPEE）：沿各坐标轴测得的三坐标测量机位置读数与基准长度测量系统读数的差值，主要为坐标位置的点位精度。检验时，需通过比较不同长度尺寸实物标准器的校准值和指示值，评价坐标测量机是否符合规定的最大允许示值误差。通常使用三等量块作为标准器，在测量空间的多个方向进行测量，重复测量多次以获取准确数据。
探测误差（MPEP）：通过确定测量点到最小二乘拟合球球心距离的范围，评价三维探测误差是否符合规定的最大允许探测误差。检验时，在标准球上选取多个探测点进行探测，探测点须均布，并计算高斯拟合球以得出探测误差。
其他性能检验
动态误差：主要来源于测量部件运动过程中由于加速度造成的变形，特别当测量面是曲面时，测量头作向心加速度运动将产生动态误差。动态误差一般不超过静态误差的10%~30%。
重复性：在相同条件下，多次测量同一位置的偏差程度。高重复性意味着测量结果更加稳定可靠。
环境适应性：检验三坐标测量机在不同温度、湿度等环境条件下的工作稳定性和测量准确性。
检验方法与设备
使用标准器：如量块、标准球等，作为检验的基准。
激光干涉仪：可用于校准三坐标测量机的各轴运动精度，测量各轴在运动过程中的实际位移，并与测量机控制系统所显示的位移进行对比。
遵循操作规范：严格按照测量机的操作手册和校准规范进行操作，确保检验结果的准确性和可靠性。
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