LH-RTA-E 6寸快速退火炉
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 量伙半导体设备(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 LH-RTA-E
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2022/9/22 14:25:31
- 访问次数 222
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我司具有大量博士研究生等高学历人才,设备所涉及到的软件、自动化和机械等均有自己的知识产权 ,也可依据客户需求,完成定制化设备的研发生产。
工艺应用:
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
离子注入/接触退火;
高温退火;
高温扩散。
金属合金;
热氧化处理;
应用领域:
化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);
多晶硅;
太阳能电池片;
MEMS;
功率器件;
IC晶圆;
LED晶圆。
量伙半导体设备(上海)有限公司成立于2018年,位于上海市浦东新区。公司专注于半导体芯片设备的研发、生产和销售,为半导体芯片制造行业提供优秀的设备和高质量的服务、
公司在安徽合肥设有研发、生产基地,在北京、西安设有办事处。
公司自主研发的快速退火炉RTP具有国内xianjin的技术水平,已在Fab厂、研究所、高校等芯片生产单位得到广泛应用。