科特莱思科热阻蒸发镀膜系统-Nano-36
- 公司名称 冠乾科技(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地 美国
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/9/8 11:31:28
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靶材材质 | 钨靶等 | 靶材尺寸 | 300*300mm |
---|---|---|---|
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
溅射气体 | 氮气等 | 控制方式 | 自动 |
样品仓尺寸 | 400*400mm | 样品台尺寸 | 300*300mm |
应用领域 | 电子,冶金,航天,汽车,电气 |
科特莱思科热阻蒸发镀膜系统-Nano-36
科特莱思科热阻蒸发镀膜系统Nano36拥有LOAD LOCK预真空进样室(可选)、前开门蒸发腔体、冷凝泵和干泵、多个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源。
在高真空下,电子枪灯丝加热后发射热电子,被加速阳极加速,获得很大的动能轰击到的蒸发材料上,把动能转化成热使蒸发材料加热气化,而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中,使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率,可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率,特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。可在高真空下蒸发不同厚度的各种金属与氧化物薄膜,广泛应用于物理,生物,化学,材料,电子等领域。
科特莱思科热阻蒸发镀膜系统-Nano-36
在高真空下,电子枪灯丝加热后发射热电子,被加速阳极加速,获得很大的动能轰击到的蒸发材料上,把动能转化成热使蒸发材料加热气化,而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中,使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率,可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率,特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。可在高真空下蒸发不同厚度的各种金属与氧化物薄膜,广泛应用于物理,生物,化学,材料以及电子等领域。