小型贵金属溅射镀膜机SC-701MkII介绍
该系列中最小的贵金属溅射镀膜机,可让您轻松创建薄电极膜。
特征
DC 溅射类别中最小的超紧凑型号。
一种小型溅射装置,可让您轻松轻松地制作电极薄膜。
标准配备间歇溅射功能
使用专用的样品台和载物台可以轻松改变 TS 之间的距离。
用途和结果示例
将电极膜粘贴到各种设备上
用于反射薄膜生产等。
基本规格
阴极 | φ2英寸/扁平电极 |
溅射靶材 | 单独出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
气体导入机构 | 针阀 |
间歇功能 | 标准设备 |
真空泵 | 直连旋转泵:20l/min(带自动泄漏) |
腔室尺寸 | 内径 φ90mm x D90mm(SUS材质) |
样品交换方式 | 前门开闭方式 |
尺寸(宽/深/高) | 机身:160/326/286mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本体:10kg RP:9kg |
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