SF-3 干渉式膜厚仪

具体成交价以合同协议为准

公司名称 大塚电子（苏州）有限公司
品牌 OTSUKA/日本大冢
型号 SF-3
产地
厂商性质 生产厂家
更新时间 2020/6/16 11:26:47
访问次数 1681

产品标签

晶圆厚度晶圆厚度测量晶圆减薄测厚

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公司介绍 主营产品

大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价·检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源·照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相关材料的光学特性评价·检查。

　　以高速·高精度·高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础，在中国的显示器市场上有着20年以上销售实例，为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源·照明相关方面，对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。

　　在中国的苏州有设立售后服务点，为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。

　　我公司的母公司日本大塚电子集团，隶属于大冢集团，一直以来都谨守大冢集团的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢为人类的健康创造革新的产品)，不断的推出创新产品，面向开展业务，为社会作出贡献。

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zeta电位?粒径?分子量测量系统，晶圆在线测厚系统，线扫描膜厚仪，显微分光膜厚仪，线扫描膜厚仪，分光干涉式晶圆膜厚仪，相位差膜?光学材料检测设备，非接触光学膜厚仪，小角激光散射仪，多检体纳米粒径量测系统，量子效率测量系统

详细信息 在线询价

产地类别	进口	价格区间	面议
应用领域	医疗卫生,化工,电子,印刷包装,电气

干渉式膜厚仪以非接触方式测量晶圆等的研磨和抛光工艺，超高速、实时、高精度测量晶圆和树脂。

干渉式膜厚仪特点：

非接触式，非破坏性厚度测量
反射光学系统（可从一侧接触测量）
高速（5 kHz）实时评测
高稳定性（重复精度低于0.01％）
耐粗糙度强
可对应任意距离
支持多层结构（多5层）
内置NG数据消除功能
可进行距离（形状）测量（使用配件嵌入式传感器）*

*通过测量测量范围内的光学距离

Point1：*技术

对应广范围的薄膜厚度并实现高波长分辨率。
采用大塚电子*技术制成紧凑机身。

Point2：高速对应

即使是移动物体也可利用准确的间距测量，

是工厂生产线的理想选择。

Point3：各种表面条件的样品都可对应

从20微米的小斑点到

各种表面条件的样品，都可进行厚度测量。

Point4：各种环境都可对应

因为远可以从200 mm的位置进行测量，

所以可根据目的和用途构建测量环境。

测定项目

厚度测量（5层）

用途

各种厚膜的厚度

式样

型号	SF-3/200	SF-3/300	SF-3/1300	SF-3/BB
测量厚度范围	5～400	10～775	50～1300	5～775
树脂厚度范围	10～1000	20～1500	100～2600	10～1500
小取样周期kHz（μsec）	5（200）※1			-
重复精度%	0.01%以下※2
测量点径	约φ20以上※3
测量距离mm	50.80.120※4.200※4
光源	半导体光源（クラス３Ｂ相当）
解析方法	FFT解析，适化法※5
interface	LAN，I/O入输出端子
电源	DC24V式样（AC电源另行销售）
尺寸mm	123×128×224			检出器：320×200×300 光源：260×70×300

选配	各种距离测量探头，电源部（AC用），安全眼睛铝参考样品，测量光检出目标，光纤清理器

＊1 ：测量条件以及解析条件不同，小取样周期也不同。
＊2 ：是产品出货基准的保证值规格，是当初基准样品AirGap约300μm和
約1000μm测量时的相对标准偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mm探头式样时的设计值
＊4 ：特別式样
＊5 ：薄膜测量时使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300

基本構成