薄膜测厚仪的常用测量方法

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来源：广东恒邦检测仪器设备有限公司 2024年02月23日 14:22

薄膜测厚仪是一种用于测量薄膜厚度的设备。常用的测量方法包括以下几种：

散射光法：通过照射样品表面并测量散射光的强度来确定薄膜厚度。该方法适用于有透明基底且不吸收或吸收很少光线的薄膜。

反射光法：通过照射样品表面，然后测量反射光波长和强度的变化来计算出薄膜厚度。该方法适用于有较高反射率差异而又能接触到背景衬底的样品。

椭圆偏振法：利用入射椭圆偏振态与反射、透过样品后形成新的椭圆偏振态之间关系，结合模型拟合分析得到样品层析物质和厚度信息。

插电极法：通过在已知介电常数材料（如SiO2）上施加交变电场，并测量其带电容性质，进而推断出待测试材料的等效介电常数和厚度。

X-射线荧光法：使用X射线照射样品，然后测量荧光辐射的特性（如能谱和强度）来确定薄膜厚度。该方法适用于有较高原子序数的材料。

这些方法各有优缺点，适用于不同类型和特征的薄膜。具体选择哪种测量方法应根据实际需求、样品特性和仪器设备的可用性进行决定。在进行测量前，请确保了解并遵守所使用设备的操作说明，并按照相关安全规程执行。

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