TESCAN MIRA3 扫描电子显微镜
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 上海永傲精密仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2019/10/11 14:49:24
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价格区间 | 300万-400万 | 仪器种类 | 场发射 |
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应用领域 | 医疗卫生,生物产业,钢铁/金属,公安/司法,综合 |
MIRA3 高束流下优异的分辨率非常有利于 EDS、WDS 及 EBSD 成分分析。借助优化的电子束减速技术 ( BDT ) 使得低着陆电压下的成像能力进一步增强。MIRA3 有 LM、XM 和 GM三种优化几何设计的样品室尺寸可供选择,同时可选择高/低真空操作环境。
突出特点
- 配置高亮度肖特基电子枪,实现高分辨率,大束流及低噪声成像;
- *的中间透镜(IML)技术和 Wide Field Optics™光路相配合,可提供多种工作和显示模式,如大视野模式和景深模式;
- 实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™)可实现性能及电子束的实时优化,同时可直接控制电子束及束流的连续调节。电子束减速技术 ( BDT ) 在低电压下具有优异分辨率;
- 通过强大的 In-Beam 探测器可实现短工作距离下的优异成像(选配);
- 所有的 MIRA3 仓室均配备优异的 5 轴全自动优中心样品台 (compucentric stage)同时拥有 EDS 和 EBSD 分析所需的理想几何结构设计;
- 可选配带有强大样品台的超大样品室(XM、GM),可检测大样品 (如6", 8", 12")晶圆;
- 优化几何设计的众多接口,可用于接入 EDS、WDS、EBSD 以及其他探测器;
- 可变真空模式适用于非导电样品研究;
- 多样可选择的减震方式可有效降低实验室环境振动的影响;
- 无畸变 EBSD 花样。
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