TESCAN MAIA3 扫描电子显微镜
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 上海永傲精密仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2019/10/11 14:49:03
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价格区间 | 300万-400万 | 仪器种类 | 场发射 |
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应用领域 | 医疗卫生,生物产业,钢铁/金属,公安/司法,综合 |
突出特点
Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 电子光学镜筒
- TriLens™ 物镜系统:*的电子束无交叉模式与三物镜相结合;
- 具有多个 SE 及 BSE 探测器的探测系统;
- TriSE™+TriBE™
- Triglav™ - 低加速电压下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV );
- 全新的 EquiPower™技术进一步提高电子束的稳定性;
- 电子束流高达 400 nA,并能实现电子束能量的快速改变;
- 优化的镜筒几何设计大可容纳8”晶圆
- 实时电子束追踪技术(In-Flight Beam Tracing™)可对电子束实时优化;
- 扩展的低真空模式,样品室气压能达到 500 Pa,实现不导电样品的观测;
- *的 TriBE™具有三个 BSE 探测器,可以选择不同立体角的信号进行采集。位于镜筒内部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探测器,分别用于检测中角及轴向的高角背散射电子,而样品室的 BSE 探测器用于探测低角背散射电子。三个探测器可以提供不同衬度的图像,并且能探测到低于 200 eV 的低能背散射信号;
- *的 TriSE™具有三个 SE 探测器,所有工作模式下二次电子信号的采集都进行了优化。位于镜筒内部的 In-Beam SE 探测器能在短工作距离下采集二次电子,SE ( BDM ) 探测器用于电子束减速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探测器能提供形貌衬度和立体感;
- 电子束减速技术(BDT)可在低至 50 eV 的低电子束能量下实现出色的分辨率(选配)。
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