ST5030-SL 自动型（含PC）膜厚测量仪

ST5030-SL 自动型（含PC）膜厚测量仪规格                              
 波长范围  400~800nm
 测量范围  100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
 透镜大小  M5x,M10x
 测量光斑尺寸  40㎛，20㎛
 测量层数 
 3

 样品台尺寸 300mmX300mm
 X,Y轴重现性,

±5㎛,

Z轴重现性 
±4㎛

 ST5030-SL 自动型（含PC）膜厚测量仪可选部分 
 SRM(标准参考样片)
 光学透镜 M50X(光斑尺寸:4㎛)

产品特征                              
快速测量&操作简便
非接触&非破坏性
良好的重复性和再现性
测量可达3层&测量精度良好
自动平台控制&自动聚焦功能
具有2D/3D绘制图与曲面轮廓

应用领域                              
半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介质材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏间隙，光刻胶与酰亚胺薄膜，石英
Optical Coating:Hardness涂层，增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料：光感导鼓，摄像头，光盘...
其他：示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板，薄金属膜，激光镜,ALQ3...