ST2000-DLXn 手动型膜厚测量仪

ST2000-DLXn 手动型膜厚测量仪规格                              
 波长范围  400~800nm
 测量范围  200Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
 透镜大小  M5x,M10x
 测量光斑尺寸  40㎛，20㎛
 测量层数 3

 样品台尺寸 150mmX120mm
 X,Y,Z机制 
 辊式导板
 移动距离：70mmX50mm

 手动聚焦模块  同轴粗微调焦控制
 可选部分 
 SRM(标准参考样片)
 光学透镜 M50X(光斑尺寸:4㎛)
 CCD摄像头
 透射功能

ST2000-DLXn 手动型膜厚测量仪特征                              
快速测量&操作简便
非接触&非破坏性
良好的重复性和再现性
基于用户易操作的界面
各个视图和储存数据的打印功能
测量可达3层&测量精度良好
手动型

应用领域                              
半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介质材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏间隙，光刻胶与酰亚胺薄膜，石英
Optical Coating:Hardness涂层，增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料：光感导鼓，摄像头，光盘...
其他：示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板，薄金属膜，激光镜,ALQ3...