mini-SEM 桌上型扫描电镜（mini-SEM）

桌上型扫描电镜（mini-SEM）

SEC公司研发生产的桌上扫描电镜（Mini-SEM）实现了大电镜的小型化处理，结构紧凑操作便捷，Mini-SEM以其人性化实用性设计及实惠的价格，成为了广泛应用于以研究开发和品质管理教育等为目的的企事业单位，政府机关，学校，研究所等机构的经济普及型扫描电镜。

                       Mini-SEM用户界面

    扫描电子显微镜是用极细的电子束在样品表面扫描（高速电子轰击样品），将产生的各种电子用特制的探测器收集，形成电信号运送到显像管，在荧光屏上显示物体，或者将激发出来的特征X光通过能谱仪或者波谱仪进行定量的成分分析的一种分析仪器。

扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关，电子束斑越小，电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下，电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号，噪声影响大。

二次电子对形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，细节清晰。

背散射电子对原子序数敏感，原子序数高的区域能得到更多的背散射电子，相应图像较亮，可以用来观察材料成分的分部。

X光：原子被激发会发出X光，每种元素受激发射发出的X光会不同，通过对不同X光进行检测，就可知道材料中包括什么元素和比例。

背散射探测器受真空度影响不大，可以适用于高真空和低真空模式。

二次电子探头受真空影响较大，分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探头。

应用

• 半导体

薄膜结构及缺陷、材料成分分析、集成电路失效分析、光刻版图形貌、太阳能电池、显示面板及半导体封装焊接等。

• 金属材料

细微晶体离子形态和结构

• 化学材料-燃料电池

不同型号性能对比：