三维云纹干涉仪

三维云纹干涉仪是由云纹干涉光路和泰曼/格林干涉光路组合而成；将高灵敏度正交型光栅复制在试件的表面，并置于光路系统中，经调试后可分别获得两个面内位移场（U和V）和离面位移场（W）；激光是由单模光纤及耦合器分解和传输到光路系统中的；光路中置有PZT压电晶体，通过驱动电源控制和驱动压电晶体和反射镜来实现相移技术，相移技术可以使测量灵敏度提高一个量级，仪器还附有加载系统及调节座；配以高温炉可进行热变形测量。

三维云纹干涉仪主要技术指标：

1、位移灵敏度：  面内u & v 场： 417nm (1200 线/mm)，

                             离面 w场： 266nm (l/2)

2、相移灵敏度:   ∽20nm/V

3、光场尺寸：    35×35mm

4、测试范围：    ≤20×20mm

5、条纹分辨率：  优于1/20级条纹

6、测量应变范围：10me~5%e

7、激光器：      单纵膜，20 mw， λ=532nm 

8、图像采集：    CMOS摄像头，分辨率 1280 x 1024，USB接口

9、加载系统：    拉伸、压缩、弯曲三种加载方式

主要配置：

1、  主机

2、  20mW半导体激光器：1个

3、  TS-1000USB摄像头（内置）：1只

4、  相移器：1个

5、  光纤：3根

6、  光纤耦合器：1套

7、  1200mm×800mm自动平衡隔振平台：1套

8、  品牌液晶台式电脑：1套(双核处理器;2GB内存;320GB硬盘;19寸宽屏液晶显示屏)

9、  拉伸、压缩、弯曲三种加载方式：1套

10、软件：1套

其他附件：

1、高温恒温箱

简介：为配合高温（≤300^oC ）条件下的热变形的非接触光学测量，高温恒温箱配有可供观察和测量的石英玻璃窗口。为不影响光学测量的精度，该玻璃是精密加工的。恒温箱的温度的稳定性由控制器控制。恒温箱固定在五维调节座上，可实现满足光路要求的精准调节。

 温度：≤300^oC, 灵敏度：±1^oC

窗口玻璃：平面度：1/2光圈，耐高温石英玻璃

2、全息云纹光栅                 

简介:用全息干涉系统和光刻技术值成的云纹光栅主要用于云纹干涉法变形测量。该光栅可以方便地转移到试件的表面，将复制有试件栅的试件置于云纹干涉光路系统中可以获得反映位移场的云纹干涉条纹。该光栅通常为正交型光栅，以获得二维面内位移场。全息干涉光路中采用了旋转光源，因而有效地消除了散斑噪声，提高了衍射效率。图H-1所示为光栅在白光下的衍射彩色图像；图H-2所示为光栅在云纹干涉光路中的零场条纹图。

性能和参数：光栅频率：1200 或600 lines/mm (0．05%)

性能和参数：光栅频率：1200 或600 lines/mm (0．05%)

正交性：        π/2±0.5x10^-4

衍射效率：      大于入射光强的10%

光栅面积：      50×50mm( 2×2in)

基底尺寸：      63×63mm(2.5×2.5in)      

基底材料：      普通玻璃或超低膨胀率石英玻璃 (ULE)

零场：          ≤1级条纹

光栅材料：      光刻胶镀铝膜