Verifire MST|XL|ZeGage ZYGO 激光干涉仪

ZYGO 激光干涉仪包括：Verifire MST、Verifire XL、ZeGage Plus、斐索型激光干涉仪。

以下是对ZYGO 激光干涉仪的具体介绍：

1、型号：Verifire MST      货号：21011301

可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。

Verifire™ MST多表面测量激光干涉仪

Verifire™ MST激光干涉仪通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。

三平面干涉测量

激光干涉仪可以在你的测量中，只要一次数据采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度。

四表面干涉测量

这一技术能够通过两次数据采集得到下列结果：

• 前表面和后表面的形貌图

• 物理厚度变化

• 光学厚度变化

• 折射率变化

- 非线性材料均匀性

- 线性材料均匀性

多表面样品测量快速、简单和质量提升

同时测量表面形变和光学厚度变化

平行平板两侧测量就可以得到其均匀性：

• 不需要涂油就可以进行安全、快速测量

• 两次测量不需要进行调整

新型的线性材料均匀性测量

快速测量，只需要几分钟而不是几个小时

2、型号：Verifire XL      货号：21022401

300毫米孔径Fizeau干涉仪具有QPSI，可用于生产环境中的真正轴上表面形态计量。

VerifierXL干涉仪是一个独立的工作站，设计用于对直径达12英寸（300 mm）的大平面进行简单可靠的计量。示例包括前表面反射镜、窗口和半导体晶圆或晶圆夹头。

这种*集成的系统易于使用，带有重型倾斜/倾斜台，提供可重复的零件放置，无需定制夹具。紧凑的占地面积，内置振动隔离，需要小的生产占地空间。

3、型号：ZeGage Plus    货号：21031601

可以在生产线上使用的非接触式3D表面粗糙度轮廓仪

ZeGage Plus光学轮廓仪以更高的精度、更快的测量速度和更大的可测量表面范围扩展了Zegage轮廓仪的功能，同时保留了其易用性、振动不敏感性和较小的占地面积。

Zegage Plus轮廓仪可以测量各种各样的表面，从非常粗糙到超级光滑，具有亚纳米精度，与视野无关。表面光洁度可包括研磨、研磨、研磨、抛光和在玻璃、陶瓷和金属等材料上的超抛光。

对于高速形式的测量，Zegage Plus的扫描速度是Zegage的两倍，从而提供更快的数据处理时间和更大的生产量。

4、斐索型激光干涉仪

型号：BZY4-Verifire     货号：21041901

斐索型激光干涉仪，具有环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。

继承了工业标准GPI 激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。

该干涉仪具有QPSI测量模式，能够在振动环境中检测，是真正的共光路面形计量干涉仪。

技术参数：