iH600 爱德华干式真空泵 iH600 维修
- 公司名称 深圳市信仕德科技有限公司
- 品牌
- 型号 iH600
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2016/1/19 11:05:20
- 访问次数 1554
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59020957
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照zui高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时zui大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
峰值速度: 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空: 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO100
出口连接: NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 240 l h-1
4 l min-1
重量: 415 kg
极限功率输入: 3.4 kW
电机额定功率: 6.1 kW
油容量: 1.43 l