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日本扫描电镜

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营业据点

东莞市协美电子有限公司

东莞市协美电子有限公司 怡星(中国)有限公司

怡星公司Star Joy Limited在华转投资机构包括:怡星(中国)有限公司,其子公司为东莞市协美电子有限公司。营业办事处包括上海丶东莞丶香港丶台北等地区。为您提供*的优质服务。

JEOL 日本电子

怡星(中国)有限公司

怡星Star Joy Limited

东莞市协美电子有限公司Star Joy Limited主要代理JEOL 日本电子SEM、OXFORD 英国牛津、日本RHESCA公司产品,并提供使用客户仪器相关技术转移及专业的维修保养。让您享受进口仪器的*性能及怡星的在地优质服务。

日本扫描电镜通过超级混合式物镜(SHL)进行高分辨率观察

JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,*地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。

JSM-7800F场发射扫描电子显微镜
JSM-7800F场发射扫描电子显微镜

日本扫描电镜低加速电压下的能量选择

能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方,可以选择能量。即使在低加速电压下,也能够精确地选择二次电子和背散射电子,因而可以通过低加速电压下的背散射电子像,观察样品的浅表面。

通过GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)观察样品的浅表面

给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用数十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。

JSM-7800F场发射扫描电子显微镜
JSM-7800F场发射扫描电子显微镜

通过多个检测器获取样品的所有信息

JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

 

应用实例

低加速电压下的观察
利用JSM-7800F的GB模式,到达样品的能量从10 eV开始就可以观察。下面将到达样品的能量设定为80 eV进行实例观察:一个碳原子厚度的石墨薄片的表面

样品: 石墨烯 到达能量80eV

利用GBSH观察
利用GBSH对样品施加高偏压,像差将会减小,图像的高分辨率会更高。能清楚地观察到介孔二氧化硅里中的微孔(左图)。

样品:介孔二氧化硅 到达样品的能量: 1keV

观察磁性材料样品
SHL物镜能抑制磁场的泄漏,因此即便是磁性材料的样品,也可以用极低的入射电子能量很容易地进行高分辨率观察 。

样品: 磁铁矿纳米颗粒 到达样品的能量: 1keV

UED和USD能同时获取背散射电子像(左图)和二次电子像(右图),因此可以精确地解释图像。二次电子像主要反映形貌信息,金颗粒和TiO2的衬度没有明显不同,而背散射电子像中原子序数高的金颗粒则显得明亮。样品: 金负载型TiO2催化剂(2kV)g

磁性样品的EBSD测试
SHL没有磁场泄漏的影响,也很适合于EBSD。象下图所示那样,通过反极图能准确地确定晶体的取向。

分析点数: 118585
尺寸:
Xzui大: 80.00微米, Y zui大: 79.89微米
步长: 0.25微米
相: Nd2Fe14B
从样品中获得的EBSD花样实例
( 在任意点上获取)
NDTDRD

 

产品规格

分辨率0.8 nm(15 kV)
1.2 nm(1 kV)
3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率×25 ~ ×1,000,000(SEM)
加速电压0.01kV ~ 30kV
样品照射电流(探针电流)数pA~200nA
自动光阑角*控制透镜内置
检测器高位检测器(UED)
低位检测器(LED)
能量过滤器UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (样品偏压)内置
数字图像1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素
样品交换室由TYPE2A构成
样品台全对中测角样品台、5轴马达驱动
X-YX:70mm, Y:50mm
倾斜-5 ~ +70°
旋转360°
工作距离2mm to 25mm
真空系统SIP 2台、TMP、RP
节能设计正常运行时: 1.3kVA
节能模式时: 0.8kV

 

JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,*地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。



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