日本扫描电镜
- 公司名称 东莞市协美电子有限公司
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- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2015/6/25 9:19:23
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日本扫描电镜通过超级混合式物镜(SHL)进行高分辨率观察 JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,*地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。 | ![]() |
![]() | 日本扫描电镜低加速电压下的能量选择能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方,可以选择能量。即使在低加速电压下,也能够精确地选择二次电子和背散射电子,因而可以通过低加速电压下的背散射电子像,观察样品的浅表面。 |
通过GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)观察样品的浅表面给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用数十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。 | ![]() |
![]() | 通过多个检测器获取样品的所有信息JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。 |
应用实例
![]() | 低加速电压下的观察 样品: 石墨烯 到达能量80eV |
利用GBSH观察 样品:介孔二氧化硅 到达样品的能量: 1keV | |
观察磁性材料样品 样品: 磁铁矿纳米颗粒 到达样品的能量: 1keV | |
UED和USD能同时获取背散射电子像(左图)和二次电子像(右图),因此可以精确地解释图像。二次电子像主要反映形貌信息,金颗粒和TiO2的衬度没有明显不同,而背散射电子像中原子序数高的金颗粒则显得明亮。样品: 金负载型TiO2催化剂(2kV)g |
磁性样品的EBSD测试 | |
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分析点数: 118585 尺寸: Xzui大: 80.00微米, Y zui大: 79.89微米 步长: 0.25微米 相: Nd2Fe14B | 从样品中获得的EBSD花样实例 ( 在任意点上获取) |
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ND | TD | RD |
产品规格
分辨率 | 0.8 nm(15 kV) 1.2 nm(1 kV) 3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) |
倍率 | ×25 ~ ×1,000,000(SEM) |
加速电压 | 0.01kV ~ 30kV |
样品照射电流(探针电流) | 数pA~200nA |
自动光阑角*控制透镜 | 内置 |
检测器 | 高位检测器(UED) 低位检测器(LED) |
能量过滤器 | UED过滤器电压可变功能内置 |
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (样品偏压) | 内置 |
数字图像 | 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素 |
样品交换室 | 由TYPE2A构成 |
样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 |
X-Y | X:70mm, Y:50mm |
倾斜 | -5 ~ +70° |
旋转 | 360° |
工作距离 | 2mm to 25mm |
真空系统 | SIP 2台、TMP、RP |
节能设计 | 正常运行时: 1.3kVA 节能模式时: 0.8kV |
JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,*地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。