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JSM-7800F Prime场发射扫描电子显微镜

来源:东莞市协美电子有限公司   2015年06月04日 15:44  

JSM-7800F Prime采用新开发的超高分辨率GBSH模式,达到了世界zui高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪,将zui大探针电流从200nA提高到了500nA。

浸没式肖特基Plus场发射电子枪

电子枪和低像差聚光镜的优化组合,实现了更高的亮度,能有效采集电子枪中发射的电子,即使在低加速电压下也能获得数 pA~数10 nA 探针电流,保持zui小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。

JSM-7800F Prime场发射扫描电子显微镜
JSM-7800F Prime场发射扫描电子显微镜

利用GBSH(GENTLE BEAM SUPER HIGH RESOLUTION)观察样品表面

以前的GB※模式经过改进后,可以对样品施加更高的电压,这样在低加速电压下也能获得超高分辨率的图像。从样品的浅表面观察到纳米尺寸的元素分析,GBSH能根据各种不同的应用选择加速电压。※Gentle Beam(GB) 通过给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。

通过GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)观察样品的浅表面

给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用数十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。

JSM-7800F Prime场发射扫描电子显微镜

通过多个检测器获取样品的所有信息

JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

 

应用实例

利用GBSH进行观察

JSM-7800F Prime 标配了GBSH模式。下图是高定向热解石墨(HOPG)解理面的二次电子像,到达样品时的能量为1keV,左图中样品偏压为-2kV,右图中样品偏压为-5kV。 可以看出利用GBSH(样品偏压-5 kV)模式观察,HOPG的微细结构更加清晰,达到的分辨率更高。

以前的技术 样品偏压2KV

技术 样品偏压5KV

 

产品规格

分辨率0.7 nm(15 kV)
0.7 nm(1 kV)
3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率×25 ~ ×1,000,000(SEM)
加速电压0.01kV ~ 30kV
样品照射电流(探针电流)数pA~500nA
自动光阑角*控制透镜内置
检测器高位检测器(UED)
低位检测器(LED)
能量过滤器UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (样品偏压)内置
数字图像1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素
样品交换室由TYPE2A构成
样品台全对中测角样品台、5轴马达驱动
X-YX:70mm, Y:50mm
倾斜-5 ~ +70°
旋转360°
工作距离2mm to 25mm
真空系统SIP 2台、TMP、RP
节能设计正常运行时: 1.3kVA
节能模式时: 0.8kV

 

JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。

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