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MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

产品特点

超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应

高重复性，宽量程比

更小体积，安装方便

无需预热，使用便捷

分阶流量控制软件，灵活配置

主要参数

介质要求  洁净干燥无腐蚀性气体

气体种类  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

测量和控制范围  0.2%-100%F.S. （1:500）

准确度  ±0.5%F.S.

重复精度  ±0.5%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可选）

传感器响应时间  5ms

控制响应时间  300ms

预热时间  ≤1s

阀门  常闭式