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进口平替 气体质量流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大：0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

• 介质要求

  洁净干燥气体
• 气体种类

  98+气体可选
• 量程

  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
  0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 测量范围

  0.5%F.S.（1:200）
• 控制范围

  1%-100% FS.（1:100）
• 准确度

  ±1% F.S.
• 重复精度

  ±0.2%F.S.
• 线性度

  ±0.2%F.S.
• 控制响应时间

  <3 秒
• 预热时间

  5 min（T95），30 分钟最佳
• 阀门

  常闭式