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二氧化碳气体流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大：0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围  0.5%F.S.（1:200）

控制范围  1%-100% FS.（1:100）

准确度  ±1% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

控制响应时间<3 秒

预热时间  5 min（T95），30 分钟最佳

阀门  常闭式