kashiyama MU系列 真空泵
kashiyama MU系列 真空泵特点：
·在蚀刻等中等负载工艺中实现低功耗表现
·占地面积较同类 20,000L/min 泵缩小约 35%
·增强工艺耐久性并提高能源效率
·符合各种标准的规范产品规格
·升级的工艺耐久性与节能性能
·产品符合多项国际标准规范
kashiyama MU系列 产品规格
型号 | MUP600E | MUP1200E | MUP1800E | MUH3000 |
最大排气速度（l/min） | 10000 | 19000 | 30000 | 50000 |
极限压力(Pa) | 0.5 | |||
电源(50/60Hz) | 3P AC200-220V | |||
功率(kW) | 0.8 | 0.95 | 1.1 | 1.6 |
冷却水量/N2量 | 2l/min | |||
氮气吹扫 | 0-45 | 0-60 | ||
外形尺(LWH)mm | 695×285×655 | 850x380x950 | 910X420X900 | |
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