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特点：

★ 真空度读显功能，集成化一体设计

★ 结构紧凑，体积小，便于放置搬运

★ 系统内置破空电磁阀

★ 极限真空度10^-8mbar

★ 即插即用式设计可实现简单的一键式操作

用途：

分子泵组主要用于真空镀膜、半导体、电子、加速器技术、等离子体技术、物理化学实验室，电真空器件制造及真空的各个领域。可配合江麦的真空探针台、真空封管机等需要真空环境的设备一同使用。

分子泵组产品规格参数：

仪器使用维护与故障诊断

在安装、操作仪器时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

仪器的使用和维护

n仪器运输时，请先拔掉电源线插头。

n仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。

n使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干净，以免灰尘将机械精密部件、光学部件、电学接触面污染，导致仪器精度降低。

n仪器机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可，不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。

n仪器显示器部件清洁时，可用镜头纸蘸不含水酒精从中间向外轻轻的擦拭。不含水酒精是易燃物，注意使用安全。

n停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。

n操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。

常见故障的排除

  当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。