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小型分子泵机组MPU-90i是由涡轮分子泵+前级泵+真空规组成的创新型产品，适用于制造业、分析仪器研发、真空镀膜、热处理、太阳能和半导体、超高真空密封石英管等领域，为用户提供超高真空一站式解决方案。1.超高真空：极限真空度可达到10-6Pa，真空度触摸屏数字显示；2.操作简易：提供中英文操作界面，触摸屏一键启动分子泵和前级泵；3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序"，防止误操作损坏分子泵，控制软件，操作简易，安全可靠；4.一机两用：前级泵可独立使用，满足粗真空下的使用场景；也可以前级泵+分子泵联动使用，获得超高真空环境，一机两用，性价比高；5.安装简单：出厂前已完成分子泵、前级泵、触摸屏安装，且完成气密性检测；6.全量程真空规：真空测量范围1x10^5-1x10^-6Pa,垂直安装确保测量准确。