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多场科技亮相CHInano 2026苏州纳博会：以全环境超精密运动控制产品服务半导体与精密制造
2026年10月23日 09:54:01
来源：化工仪器网 作者：杨 点击量：2694
多场科技携全环境压电超精密运动控制技术及系列产品亮相本届纳博会，面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域展示纳米级运动控制与物性表征解决方案。
10月21日至23日，CHInano 2026第十六届国际纳米技术产业博览会(简称“纳博会”)在苏州国际博览中心举办。作为纳米技术领域具有国际影响力的综合性专业盛会，本届纳博会以2.6万平方米展区规模、350余家参展企业及570余位演讲嘉宾的阵容，成为行业备受关注的年度活动。多场低温科技(北京)有限公司(以下简称“多场科技”)携全环境压电超精密运动控制技术及系列产品亮相本届纳博会，面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域展示纳米级运动控制与物性表征解决方案。
专注全环境压电超精密运动控制
多场科技于2017年正式运营，是国家高新技术企业、国家专精特新“小巨人”企业。公司致力于全环境压电超精密运动控制技术以及产品的开发与推广，目前已形成具有先进技术水平的全环境纳米运动控制产品集群、模块化的全品类超精密运动控制产品，以及涵盖力、热、声、光、电全方面的物性表征系列产品，并推出融合多场先进技术的综合物性表征平台等整体化解决方案。
多场科技展位现场
多场科技的产品体系主要包括：低温强磁场下的电学、热学、光学和磁学等物性测试系统；纳米级自动化解决方案，覆盖全环境全品类纳米分辨率压电位移台、亚纳米级电容式位置传感、皮米级多通道激光干涉测距仪、精密光学自动化等；以及极低温低振动物性表征平台。公司面向半导体、精密光学、精密仪器、工业自动化等领域，着力打造超精密运动领域一体化集成式解决方案。
三大核心产品覆盖纳米级运动控制关键环节
本届纳博会上，多场科技重点展示的纳米级压电陶瓷位移台、电容位置传感器和多通道激光干涉仪，覆盖精密运动控制、位置测量与实时反馈等关键环节。
纳米级压电陶瓷位移台
纳米级压电陶瓷位移台包含线性、偏摆、旋转、多轴串联、多轴并联、亚纳米高速扫描等全品类全环境压电位移台，可实现纳米级/亚纳米级高精度运动控制，支持超高真空、完全无磁及极低温等特殊环境工作，并可满足大负载、长行程、高速等定制需求，应用于半导体光刻、键合、量测、检测等环节。
电容位置传感器
电容位置传感器具备亚纳米级空间分辨率，支持50 kSa/s高速数据采集和高速通讯；量程覆盖0.2—3 mm，多种探头形式可选，支持超高真空、完全无磁及极低温等特殊环境工作，应用于精密测量定位、半导体键合、量测、检测等环节。
多通道激光干涉仪
多通道激光干涉仪可实现皮米级高速测距，工作距离0—10 m，最大目标速度3.8 m/s；单台配备3个测量通道，可独立测量3个线性运动自由度；多探头形式可选，支持超高真空、完全无磁等特殊使用环境，应用于半导体光刻、量测等环节中的精密定位实时位置反馈。
以一体化解决方案支撑产业技术突破
多场科技坚持创新、稳扎稳打，广泛开展合作，积极拓展业务范围。公司围绕全环境压电超精密运动控制技术，持续完善产品集群和整体化解决方案，帮助客户更高效地推动技术发展。在国内工业升级、芯片自主化等大趋势下，多场科技正以全环境纳米运动控制、亚纳米级位置传感和皮米级激光干涉测量等产品能力，为相关行业和领域突破“卡脖子”问题提供技术支撑。
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