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《表面化学分析 俄歇电子能谱分析方法通则》国家标准公开征求意见
2026年05月09日 15:57:44
来源：化工仪器网 作者：宋池 点击量：5406
《表面化学分析 俄歇电子能谱分析方法通则》国家标准正公开征求意见。该标准由清华大学牵头修订，将代替GB/T 26533-2011版。主要技术变化包括标准名称调整、仪器校准指导、定量分析细化、深度剖析完善及绝缘样品分析要求等。
国家标准计划《表面化学分析 俄歇电子能谱分析方法通则》目前正在面向社会公开征求意见。该标准由全国表面化学分析标准化技术委员会(TC608)归口，主管部门为中国科学院。
俄歇电子能谱是表面分析领域的重要技术，广泛应用于材料、化工、电子等行业的表面元素及化学态分析。现行标准GB/T 26533-2011《俄歇电子能谱分析方法通则》自发布实施以来，作为该领域的纲要性标准，对规范分析测试方法、提升数据质量发挥了重要作用。2024年12月20日，经全国表面化学分析标准化技术委员会复审，认为该标准需结合当前技术发展与国际标准更新情况进行修订，以保持其科学性、先进性和适用性。
本标准牵头起草单位为清华大学。清华大学长期从事俄歇电子能谱分析方法及科研工作，尤其在利用俄歇线形研究纳米薄膜材料异质界面化学状态方面取得突出成果。依托清华大学分析中心和清华大学国家大型科学仪器中心-北京电子能谱中心，该校曾代表中国于2006年首次参与ISO/TC201组织的国际比对实验并取得优异成绩。
本文件将代替GB/T 26533—2011《俄歇电子能谱分析方法通则》。与2011版相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术内容有多项更新。为与现有标准协调，标准名称改为《表面化学分析 俄歇电子能谱分析方法通则》。规范性引用文件已更新，与现行有效的国家标准保持一致。术语和定义一章改为直接引用GB/T 22461.1，仅保留必要的补充术语，同时增加了符合与缩略语。在仪器校准方面，增加了对能量标校准和强度表标校准的指导，并区分了中等分辨和高分辨谱仪的不同要求。定量分析方法得到细化，引入了平均基体相对灵敏度因子的概念。深度剖析的操作流程更加完善，增加了离子束对准和溅射速率测定的要求。此外，针对绝缘样品分析，补充了荷电控制与校正的相关要求。
本标准规定了使用聚焦电子束作为激发源的俄歇电子能谱仪一般表面分析方法的要求，适用于俄歇电子能谱仪。标准旨在为表征结果的可靠性提供保障，不产生直接经济效益。修订过程中所涉及的实验均为固体样品，不涉及危化品使用，对生态环境无影响。
据起草单位介绍，本标准在修订过程中充分参考了ISO、ASTM等国际最新相关标准，结合国内实际情况进行转化与采纳。通过参与ISO/TC201组织的国际比对实验，起草单位验证了本标准所涉及方法与国际标准的一致性及先进性。本标准合规引用了国际标准化组织正式颁布并已采标转化的相关国家标准，力求与国际标准接轨。同时，本标准不涉及国内外专利，与国家现行有关法律、法规和强制性国家标准无抵触，技术内容无重大分歧和偏离。
标准建议作为推荐性国家标准发布实施，实施日期为发布之日起3个月后。该标准发布并实施之日起，建议同步废止原GB/T 26533-2011《俄歇电子能谱分析方法通则》。
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