纳米压痕仪测试所有材料的硬度

薄膜材料，如电镀、硬膜等

树脂材料，薄膜材料

极薄膜，如DLC

功能树脂膜和表面改性层

微粒和粉末材料

纳米张力试验

获得薄膜、极表面、微小区域的硬度

弹性模量等机械性能

分析载荷和位移曲线以求特性，

无需压力痕迹观察

符合ISO 14577-1/JIS Z 2255 标准

纳米压痕仪性能：

1. 温度管理机制

● 抑制样品、试验机的热膨胀

● 风挡内部進行 士0.1℃的温度管理

● 测量部件使用低热膨胀材料（诺维奈特）

● 减少外部气流的影响

2. 高精度定位平台

● 采用本公司开发的用于电子束绘图设备的

高精度舞台技术

● 0.1 μm 最小移动距離

● 观察倍率 以2,000 倍测定任意位置

（20 倍标准物镜，配合使用数字变焦）

3. 除振机构

● 抗振动高精度楔形移动平台

● 标配主动式减震器

4.软件

● 压头校正、温度漂移校正、

日常检查提醒等辅助功能

● 久经考验的易用性

5.数据可重复性

抑制振动和温度变化等干扰影响的机构，

提高了数据再现性

● 连续测量也能获得稳定的数据

6.维护性

● 高负荷单元、低负荷单元易于更换

● 通过更换设备校准减少了设备停机时间