电子级精馏塔专为超高纯电子化学品精制打造,主要用于去除物料内金属离子、固体微粒、微量杂原子杂质,产出满足芯片、光伏制造标准的超高纯酸碱与有机溶剂,杂质含量可稳定控制在 ppb 至 ppt 区间,提纯标准远高于普通化工精馏设备。
设备整体采用分段模块化密闭结构,包含防腐塔釜、精馏塔身、精密回流分配组件、多级冷凝单元、惰性保护真空系统与智能控制系统,全程封闭运行,避免外界粉尘、空气水汽造成二次污染。所有与物料接触部件选用低析出高纯材质,强腐蚀介质工况使用一体式高纯石英材质,量产连续生产机型采用全氟塑料内衬搭配氟塑料波纹填料,密封件选用全氟橡胶,全程规避普通金属接触带来的离子溶出问题;特殊硅系物料工况可采用超低析出抛光不锈钢,整机严格做气密性检测。
塔内配备专用液体再分布装置,改善流体分布,消除壁流、偏流现象,内部持液量低,减少物料停留带来的污染与变质风险。填料分离效率高,整塔运行压降小,可配合负压实现低温精馏,减少热敏物料高温分解,也可搭配亚沸汽化结构,无沸腾鼓泡、无雾沫夹带,大幅截留重金属颗粒物。
设备搭载高精度恒温控制系统,回流比例可自由调节,搭配无油真空机组与氮气置换保护,支持自动进料、残液定时排出、运行参数实时监控,覆盖实验室小试、中试撬装、工业化连续多塔串联多种规格。多用于电子级硝酸、光刻配套溶剂、氯硅烷等物料提纯,是半导体清洗试剂生产的核心精制设备。
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