采用红外传感器法原理。具有一定湿度的加湿氮气在材料的一侧流动，干燥氮气在材料的另一侧以固定的流量流动；湿度梯度差的存在，导致水蒸气从高湿侧透过薄膜扩散到低湿侧；在低湿侧，透过的水蒸气被流动的干燥氮气（载气）携带至红外传感器；传感器对载气的水蒸气浓度会产生对应的电信号；精确测量传感器电信号，计算试样的水蒸气透过率等参数。