半导体温控老化箱温度系统校准、机械结构检查与电气安全管控实践维护手册

高精度半导体温控老化箱作为半导体器件可靠性测试的控温设备之一，其运行状态直接影响测试数据的准确性与稳定性。日常保养工作需围绕温度控制系统、机械结构、电气组件及环境适配性等核心维度展开，通过系统性维护措施预防故障发生，延长设备使用周期。

一、温度控制系统的保养要点

温度控制系统是老化箱的核心组成部分之一，需关注传感器、加热与制冷模块及循环系统的保养。温度传感器作为温度监测的关键元件，易受灰尘、水汽等因素影响导致精度偏移。开机前应检查传感器是否清洁，定期对传感器进行校准，将其测量值与标准温度计比对，偏差超出允许范围时及时调整或更换。

加热模块与制冷系统的保养需兼顾清洁与功能检测。加热丝表面若积累灰尘或氧化物，会影响热传导效率，每季度应拆开防护罩进行清理，同时检查加热丝是否有断裂、变形等情况，发现问题及时更换。制冷系统的冷凝器和蒸发器易因长期运行积聚灰尘，需每月用压缩空气吹扫散热片，确保散热通畅。

循环风机负责箱内气流均匀分布，其运行状态直接影响温度均匀性。定期应检查风机叶片是否积尘，若有污垢需断电后用软布擦拭，同时检查风机运转是否平稳，有无异常噪音，发现异响需及时排查轴承磨损情况，必要时添加润滑剂或更换轴承。

二、机械结构与密封系统的维护

老化箱的机械结构保养主要涉及舱门、搁架及传动部件。使用后应检查密封条是否完好，有无变形、破损或异物粘连。若密封条表面存在污渍，可用清水擦拭；发现局部破损时，需及时修补或更换整圈密封条，确保舱门关闭后无缝隙。

搁架作为放置测试样品的部件，需定期检查其承重性能与位置精度。定期检查搁架固定螺丝是否松动，若有晃动需重新紧固；对于可调节高度的搁架，需测试调节机构的顺畅性，必要时清理滑轨内的杂质并添加润滑脂。此外，需避免搁架超载运行，放置样品时应均匀分布重量，防止局部受力过大导致变形。

三、电气与控制系统的保养措施

电气系统的保养需注重安全性与稳定性。开机前应检查电源线、插头是否完好，有无破损、老化迹象，插座是否松动。每月需打开电气控制柜，用压缩空气清理内部灰尘，检查接线端子是否紧固，有无氧化现象，发现松动及时拧紧，氧化部位需用砂纸打磨后重新连接。控制系统的保养包括操作面板、显示屏及内部线路。操作面板上的按键和接口易积灰，每日使用后应用干布擦拭，避免液体渗入。安全保护装置如超温保护器、过载保护器等，需每月进行功能测试。通过模拟超温、过载等异常情况，验证保护装置是否能及时触发，确保其在突发故障时切断电源，保护设备与样品安全。

四、环境适配与整体清洁

老化箱的运行环境对其性能有影响，日常需做好环境管控。设备应放置在远离热源、水源及强电磁场的位置，周围保持通风良好，避免阳光直射。设备外部清洁应定期进行，内部清洁应在测试结束后清理箱内残留的样品碎屑。

高精度半导体温控老化箱的日常保养是一项系统性工作，需建立完善的保养记录，详细记录每次保养的时间、内容及发现的问题，可降低设备故障率，保障测试工作的连续性与准确性，为半导体器件的可靠性评估提供稳定的设备支持。