蒸发镀膜仪是制备集成电路的关键设备之一

来源：沈阳科晶自动化设备有限公司 2025年05月27日 06:46

　　在半导体制造中，蒸发镀膜仪可用于沉积金属电极、绝缘层等薄膜，是制备集成电路的关键设备之一。例如，通过蒸发铝等金属，可以在硅片上形成导电的电极，实现电子元件之间的连接。在电子元器件的生产中，如电容器、电感器等，也常常利用蒸发镀膜技术来制备薄膜介质或导电层，以提高器件的性能和可靠性。

　　用于制造光学镜片的增透膜、反射膜等。通过蒸发特定的材料，如氟化镁、银等，可以在光学镜片表面形成一层厚度均匀、光学性能优良的薄膜，减少光线的反射损失，提高镜片的透光率或反射率。在激光技术中，可用于制备激光镜片的防护膜、反射镜等，满足激光系统对光学元件的高要求。

　　蒸发镀膜仪的组成：

　　1.真空腔体：这是蒸发镀膜仪的主体部分，用于提供一个密闭的高真空环境。腔体的设计通常考虑到易于操作和维护，如采用前开门式结构，方便取放基片、更换蒸发源以及进行日常的清洁和保养。腔体的大小和形状会根据不同的应用需求有所差异，可以容纳较大尺寸的基底，满足大规模生产或特殊实验的要求。

　　2.真空系统：由真空泵、真空阀门、真空管道等组成，负责将腔体内的气体抽出，以达到所需的真空度。常见的真空泵包括机械泵、分子泵等。机械泵主要用于粗抽，能够快速将腔体内的大部分气体抽出，而分子泵则用于进一步提高真空度，其工作原理是基于高速旋转的转子将气体分子吸附并排出，从而获得真空度。

　　3.蒸发源：是蒸发材料加热蒸发的关键部件，根据加热方式的不同，有各种不同的类型。如电阻加热源中的钨舟、钼舟等，它们能够承受高温，且与蒸发材料有良好的热接触，确保材料均匀受热蒸发。电子束蒸发源则相对复杂，它通过电子枪产生高能电子束，聚焦在蒸发材料上，使其迅速熔化并蒸发。

　　4.基底支架与样品台：用于固定基底，使其处于合适的位置以接收蒸发材料形成的薄膜。样品台通常可以进行旋转、倾斜等运动，这样可以保证薄膜在基底表面的均匀性。在有些蒸发镀膜仪中，样品台还能够实现多工位切换，提高镀膜效率。

　　5.控制系统：负责对整个镀膜过程进行准确的控制和调节。它可以设定蒸发温度、蒸发时间、真空度等参数，并根据预设的程序自动运行。同时，控制系统还能实时监测设备的各项状态，如真空度、温度等，一旦出现异常情况，能够及时发出警报并采取相应的保护措施。

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