LEVITRONIX莱维特尼微电子湿製程应用超洁净无轴承泵BPS-600 ST

LEVITRONIX莱维特尼微电子湿製程应用超洁净无轴承泵BPS-600 ST 

LEVITRONIX莱维特尼微电子湿製程应用超洁净无轴承泵BPS-600 ST 

The Levitronix® BPS-600 不锈钢设计用于微电子湿应用中精细流体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮起来，并受其驱动。宽大的间隙确保运动部件之间没有机械接触，因此，不存在磨损，不会产生轴承磨损或密封件损坏，叶轮和外壳均由导电不锈钢制成，可用于溶剂应用。通过电子调节叶轮速度来精确控制流体流速和压力。

行业经验证明 – 半导体制造（及其他领域）中最纯净的泵！ 由于叶轮和泵头外壳之间没有机械耦合，因此没有磨损，因此几乎不会产生颗粒。显著低于气动泵 Levitronix®泵的湿表面面积要比同等输液功率的气动泵小好几倍。可靠性 由于不会发生轴承磨损或密封件损坏，设备的正常运行时间增加，您的工艺设备的寿命得以延长，维护成本降低。改进的过滤器性能 开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵原理和无阀门导致无无脉冲流量。从而提高超纯过滤器的性能。体积显着小于气动泵 泵和电机采用高集成设计，加上没有机械轴承，大大减少了安装空间，可被安装在有限的空间内。非常适用于研磨液和精密电镀液光滑湿润的塑性材料表面加上无机械轴承、窄缝、裂纹和死区，因此可以对敏感液体进行温和处理。