FISCHER X射线测厚仪XDL230产品信息

菲希尔X射线测厚仪FISCHER XDL230

一、核心测量技术

1. 测量原理：运用 X 射线荧光光谱法，实现对镀层厚度的精准测量。

2. 测量方式：无损检测，具备自动聚焦功能，保障样品完整性与测量准确性。

3. 元素测量范围：涵盖 Cl（17） - U（92），最多可同时测量 24 种元素、23 层镀层。

二、硬件性能参数

1. 手动 X/Y 平台：移动范围≥95x150mm，可用工作台面≥420x450mm，满足多样品放置与测量需求。

2. 电动 Z 轴：支持手动 / 自动聚焦，移动范围≥140mm，适配不同高度样品。

3. DCM 技术：采用测量距离补偿法（DCM），可实现 80mm 深度的腔体样品远距离对焦测量 。

4. 高压调节：可变高压支持 30KV、40KV、50KV 三档调节，灵活应对不同测试场景。

5. 准直器：配备 φ0.3 的圆形准直器，提升测量精度。

6. X 射线探测器：采用比例接收器，确保信号稳定接收。

7. 摄像头：高分辨率 CCD 摄像头，放大倍数 40 - 160 倍，便于样品观察定位。

三、软件与数据处理

1. 操作系统与软件：基于 Windows 7 以上中文操作界面，搭载 WinFTM 专业测试软件，配备连接 PC 和打印机的 USB 接口。

2. 统计计算功能：数据组集成时间和日期功能，具备平均值、标准偏差、最大值、最小值等统计计算；支持公差范围输入，可计算 CP 和 Cpk 值，超范围自动报警提示。

3. 校准与判定：采用基本参数法，内置 12 纯元素频谱库，实现无标准片校准测量；具备 MQ 值显示，用于判断测量程式与样品匹配度，防止误操作。

四、标准配置与合规性

1. 标准片：配备 12 种基准纯元素（Ag, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr）标准片。

2. 辐射安全：持有环保部门出具的辐射豁免管理函，符合安全标准。

3. 计算机控制系统：配置 I5 处理器、8G 内存、500G 硬盘、19 寸液晶显示器及彩色喷墨打印机。

五、工作环境要求

1. 温度范围：10℃ - 40℃。

2. 相对湿度：20% - 80%。

六、关键测量精度指标

1. 当镀层厚度≥0.5um 时，顶层镀层测量精度≤5%，确保测量结果可靠性。