EDX 2000A 全自动微区膜厚测试仪天瑞仪器

特点及优势

• 上照式设计：可适应更多异型微小样品的测试，如半导体、芯片及 PCB 等行业的非接触微区镀层厚度测试。

• 信号采集高效：全新光路，更短光程，相较传统光路，信号采集效率提升 2 倍以上。

• 摄像头配置优良：可变焦高精摄像头搭配距离补正系统，能兼顾微小产品以及台阶、深槽、沉孔样品的测试需求。

• 测试高效：可编程多点测试，能自动完成对多个样品多个点的测试，大大提高测样效率。还自带数据校对系统，让用户无需担心数据突然变化。

• 硬件配置高：采用进口高分辨率的 FAST SDD 探测器，分辨率高达 140eV，能精准解析每个元素的特征信号，对复杂底材以及多层复杂镀层优势明显。进口的高功率大高压单元搭配进口大功率 X 光管，保障信号输出与激发的稳定性，降低故障率。高精度自动化的 X 轴、Y 轴以及 Z 轴三维联动，可快速完成对微小异型测试点的定位。

• 软件界面人性化：人性化软件界面，操作便捷。曲线有中文备注，易于上手。还能实时监控仪器硬件功能，让使用更放心。

测试指标

• 元素分析范围：从钾（K）到铀（U）。

• 元素与镀层分析能力：一次可同时分析最多 24 个元素，5 层镀层。

• 镀层厚度范围：0.005μm—50μm。

• 测量重复性：多次测量重复性可达 2%。

• 长期工作稳定度：为 3%。

应用领域

标准配置

仪器参数

• 尺寸：485（W）×588（D）×505（H）mm。

• 重量：60kg。

• X 射线源：X 射线管电压 5 - 50KV 可调，电流 50 - 1mA 可调，制冷方式为密闭型风冷。

• 准直系统：标配￠0.2mm（可根据要求选配）。

• 滤光片：Al 滤光片（可根据要求选配）。

• 样品观测配置：样品照明为 LED 灯上方垂直照射，观察采用彩色 CCD 摄像头，倍率 25 倍，视野 6×4.8mm。

• 自动对焦功能：高度激光自动对焦。

• 电动 XY 高精度移动平台：移动范围 100mm（X），100mm（Y），分辨率 5μm，重复定位精度＜10μm，步进电机步距角 1.8°，载重量 3kg（无倾斜）。

• Z 轴升降平台：升降幅度范围 0 - 140mm。

• 电源输入：AC220±10%，5A，50/60HZ。