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薄膜应力测试系统采用的是非接触MOS激光技术，除了对薄膜的应力、表面曲率和翘曲测量外，可实现二维应力Mapping成像统计分析；也可以实现应力、曲率随温度变化的关系的测试。
薄膜应力测试系统的特点包括：
1、高精度测量：采用的测量技术和算法，确保测量结果的准确性和可靠性。
2、实时监测：能够实时监测薄膜应力的变化，为科研人员提供实时数据支持。
3、多参数测量：除了测量应力外，还可以测量曲率、翘曲等参数，为薄膜材料的研究提供多方面数据。
4、无损测量：在测量过程中不会对薄膜材料造成损伤，确保材料的完整性和可用性。
薄膜应力测试系统在材料科学、物理学、半导体制造等多个领域都有广泛应用。例如，在半导体制造中，薄膜应力测试系统可用于测量晶圆上薄膜的应力，以确保晶圆的稳定性和可靠性。此外，随着技术的进步和需求的增加，薄膜应力测试系统也在不断发展和完善。未来的发展方向包括提高测量精度、实现实时监测、拓展测量范围、提高智能化水平等。
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