fei双束电子显微镜的基本工作原理

来源：赛默飞电子显微镜 2024年11月07日 14:44

　　fei双束电子显微镜是一种结合了离子束和扫描电子显微镜的先进成像技术。它利用离子束和电子束来对样品进行成像和加工，具有高分辨率、高灵敏度和高精度的优点，广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术等领域。

　　fei双束电子显微镜的基本工作原理如下：

　　1、离子束制备样品表面：离子束主要用于样品表面的加工和预处理。离子束可以清除样品表面的氧化层或有机物，裸露出纯净的样品表面。离子束还可以进行局部蚀刻、切割、沉积等加工操作，为后续的电子显微镜成像提供高质量的样品表面。

　　2、电子束成像样品表面：在样品表面经过离子束处理后，电子束开始对样品进行成像。电子束通过透镜系统聚焦到样品表面，扫描整个样品表面并探测来自样品的散射电子。这些散射电子被接收器捕获并转换成图像，形成高分辨率的显微图像。

　　3、离子束精确加工样品区域：在电子束成像的过程中，如果需要对样品进行进一步加工或处理，离子束可以精确地定位到目标区域进行局部加工。通过调节离子束的能量和剂量，可以实现纳米尺度的加工、切割、沉积等操作，帮助研究人员深入了解样品的微观结构和性质。

　　4、原位观察和分析：还具有原位观察和分析的能力，可以在成像的同时进行局部的化学分析、表面形貌观察等操作。这种能力使得研究人员可以实时监测样品表面的变化，探索材料的微观结构和性质之间的关系。

　　总的来说，fei双束电子显微镜通过将离子束和电子束结合在一起，实现了对样品的高分辨率成像和精确加工的功能，为研究人员提供了强大的工具来研究材料、生物样品等的微观结构和性质。

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