反应离子刻蚀机特点

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来源：似空科学仪器（上海）有限公司 2024年01月30日 13:20

OxfordRIE反应离子刻蚀机PlasmaPro80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。

PlasmaPro80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究和小批量生产的理想选择。它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。

●直开式设计允许快速装卸晶圆

●出色的刻蚀控制和速率测定

●出色的晶圆温度均匀性

●晶圆最大可达200mm

●购置成本低

●符合半导体行业S2/S8标准

系统特点

●小型系统——易于安置

●优化的电极冷却系统——衬底温度控制

●高导通的径向（轴对称）抽气结构——确保能提升工艺均匀性和速率

●增加<500毫秒的数据记录功能——可追溯腔室和工艺条件的历史记录

●近距离耦合涡轮泵——抽速高迅速达到所要求的低真空度

●关键部件容易触及——系统维护变得直接简单

●X20控制系统——大幅提高了数据信息处理能力，并且可以实现更快更可重复的匹配

●通过前端软件进行设备故障诊断——故障诊断速度快

●用干涉法进行激光终点监测——在透明材料的反射面上测量刻蚀深度（例如硅上的氧化物），或者用反射法来确定非透明材料（如金属）的边界

●用发射光谱（OES）实现较大样品或批量工艺的终点监测——监测刻蚀副产物或反应气体的消耗量的变化，以及用于腔室清洗的终点监测

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