探头故障现象、原因及排除方法
1、沉积期间厚度读数大跳变
a. 不良晶片产生 解决方案:更换晶片
b. 晶片接近其使用寿命 解决方案:更换晶片
c. 晶片支承座表面有杂物 解决方案:用酒精或细砂皮清洗支承座
d. 来自溅射源的频率干涉 解决方案: 检查接地,仪器远离溅射源
2、沉积期间晶体停振,但晶片寿命未到
a. 晶片被来自镀膜源熔化材料小熔滴撞击 解决方案:镀膜起始阶段用档板遮蔽后移开
b. 不良晶片 解决方案: 更换晶片
c. 晶片支承座内腔表面有杂质 解决方案:清洗
3、晶体在真空中振荡,单暴露空气后停振
a.晶体接近使用寿命,暴露空气导致薄膜氧化而引起薄膜压力增加 解决方案: 更换晶片
b. 晶片积累了过多水分 解决方案:暴露空气之前关掉探头冷却水
免责声明
- 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。