手机版
化工仪器网手机版
化工仪器网小程序
官方微信
公众号：chem17
扫码关注视频号
DLW-RD-Photonics是一款专为光子芯片集成领域设计的高性能激光直写设备，拥有高精度纳米级3D加工能力与高精度定位对准能力。设备配备高精度的共聚焦扫描系统和荧光探测系统，确保在光子芯片表面精确对准3D打印。Nanostudio软件配备功率补偿功能，可实现在芯片端面的高精度加工，消除聚焦遮挡区域的影响，为光子芯片集成领域的微细结构提供精准打印。
制作光刻版的工艺流程：
a、绘制版图文件；
b、转图，生成设备可曝光的文件格式，曝光图形；
c、显影，露出铬层；
d、蚀刻，使用Cr蚀刻液湿法腐蚀；
e、使用湿法去除光刻掩膜版上的光刻胶层，并清洗甩干。
常见绘图错误：
a、无填充；
b、图形不封闭、
c、有多余线段；
d、字符无宽度；
e、图形合并错误；
f、隐藏图层；
g、弧线不圆滑；
h、圆形图案曝光出错；
I、文件数据量过大等，都会造成图档转换失败，或者图档虽然转换成功，但是设备有一定几率发生错误曝光，导致制版失败、甚至造成设备电脑死机等严重问题，为避免问题的发生概率，请认真学习软件的使用规则和版图设计要求。
免责声明
- 凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
采购中心
