PALET DDB-701 日本无掩膜光刻机 研发及小批量订单利器
参考价 | ¥ 100000 | ¥ 98000 |
订货量 | 1套 | ≥2套 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市田野仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 PALET DDB-701
- 产地 日本
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/29 13:41:33
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型号 | PALET DDB-701 | 电源 | 220v |
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精度 | 3μm |
桌面无掩模(直接曝光)光刻系统,通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。
桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL,桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL
产品特点
硬件特性
小型化
内置隔振机构和真空吸油泵
只需要电源和光刻间
软件特性
用户方便型接口
简易流程
支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型
型号 | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
载物台(Stage) | 手动 XYZθ载物台 | 电动 XYZθ载物台 |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 线宽 | 3μm *1 | |
单次曝光面积 | 1mm×0.6mm *1 | |
每张照片曝光时间*3 | 1~2 sec. *1 | |
Max. 曝光区域 | 25mm×25mm(手动连接) | 25mm×25mm(自动连接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文档格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主体尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主机重量 | 30kg |
*1在使用×10物镜的情况下
*2在使用×2物镜的情况下
*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)
日本无掩膜光刻机 研发及小批量订单利器