一、探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动
二、从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台
三、经济手动型:
(1)根据客户需求定制
(2)chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可选)
(3)X-Y移动行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可选)
(4)chuckZ轴方向升降10mm(选项)方便探针与样品快速分离
(5)显微镜:金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜(可选)
(6)显微镜移动方式:立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型(可选)
(7)探针座:有0.7um、2um、10um精度可选,磁性吸附带磁力开关
(8)可搭配Probecard测试
(9)适用领域:晶圆厂、研究所、高校等
四、LCD半自动探针台:
(1)机械手臂取放片
(2)电动、键入坐标寻位置
(3)量测尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
五、LCD手动探针台:
(1)白炽灯或者LED整面背光
(2)TFT元件特性、DriverIC量测分析
(3)机台尺寸(mm):800x600、500x400、300x300
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