残留气体成分检测用真空计SC-10的原理分析

残留气体成分检测用真空计SC-10的原理分析

SC-10 通过测量总压力的冷阴极计放电的颜色来区分气体成分。利用光的颜色（波长）根据气体成分而不同的事实来测量成分。也可以在 SC-10 光谱模式屏幕上查看气体成分的波长。

由于气体成分测定部设置在大气压侧，因此不会被真空中的气体污染，可以不受污染影响地进行测定。此外，冷阴极真空计不含灯丝，因此可用于严苛的应用。

智能真空计可以测量残留气体的成分，让您可以快速了解真空设备在抽真空过程中的健康状况，例如泄漏和水蒸气的脱气。下面两张图显示了同一设备的不同抽气数据。图 1 显示了正常抽气，水蒸气是决定总压真空的主要成分，而在图 2 中，由于泄漏而使用了氮气。开始向下抽真空约5分钟后停止，如果继续抽真空，约10分钟后氮气变为水蒸气以上，全压真空度停止下降。通过使用智能真空计，您可以快速发现通过监测全压真空度无法检测到的排气异常及其原因。

                                                                              图1

                                                                           图 2

使用智能真空计，您不仅可以知道是否有泄漏，还可以通过吹氦气或氩气找到泄漏的位置。图 3 显示了智能真空计在氩气吹到泄漏点时的数据，可以看出由于氩气的增加和氮气的减少，此处存在泄漏。停止泄漏后，如图4所示，氮气和氧气减少，水蒸气成为主要成分，是真空设备的典型残余气体成分。

                                                                       图 3

                                                                           图 4