SC-10 测量残留气体成分的智能真空计

日本vista用于测量残留气体成分的智能真空计SC-10

・通过监视残留气体成分，可以监视真空装置的健康状况，并可以立即发现异常。
・用此一台可以测量真空度（总压力）和气体成分（分压）。

SC-10智能真空计是我们开发的一种全新的自动真空计，可以测量残留气体成分和总压真空。
总压力真空是从大气压到10-7Pa的超高真空，当总压力达到约50Pa时，气体成分的分压会自动启动，并且可以测量约10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的压力范围内测量气体成分并检查泄漏，这是常规气体分析仪无法做到的。

由于智能真空计可以测量残留气体的成分，因此可以快速了解真空设备的声音状况，例如排气装置中的水蒸气泄漏和脱气。下两个图显示了同一设备的不同排气数据，但在图1中显示了正常排气，其中水蒸气是主要成分，并且确定了总压力真空，而在图2中，氮气是由于泄漏造成的。可以看到，从下降的排气开始大约5分钟后，排气停止了，如果继续排气，则大约10分钟后，氮含量变得比水蒸气大，并且总氮含量下降。压力真空停止。通过使用智能真空计，您可以快速发现排气异常及其原因，而仅通过监视总压力真空是无法理解的。

使用智能真空计不仅可以发现泄漏，还可以喷射氦气或氩气以找到泄漏的位置。图3显示了在泄漏点上喷射氩气时的智能真空计的数据，但是可以看到，由于氩气的增加和氮气的减少，这里存在泄漏。在停止泄漏之后，如图4所示，氮气和氧气减少，水蒸气成为主要成分，并成为典型真空装置的残留气体成分。

日本vista用于测量残留气体成分的智能真空计SC-10

测定原理

SC-10通过测量总压力的冷阴极压力表的放电颜色来区分气体成分。通过利用光的颜色（波长）根据气体成分而不同的事实来测量该成分。也可以在SC-10的光谱模式屏幕上查看气体成分的波长。
由于气体成分测定部设置在大气压侧，因此不会被真空中的气体污染，因此能够不受污物的影响而进行测定。此外，冷阴极规没有灯丝，因此可用于坚韧耐用的应用。